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MC服务|中科院应化所EDC湿法刻蚀显影机顺利验收

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中科院应化所购买EDC湿法显影刻蚀系统,近期已完成设备安装调试和用户培训,顺利验收。


使用单位:中科院应化所

设备型号:EDC-650HZ-8NPPB

设备名称:EDC湿法显影刻蚀系统

设备应用:多种基底材料和多种腐蚀性化学溶剂

辅助条件:DI rinse , N2 dry , DI bowl wash , N2 purge , DI (BSR)

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