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MC服务|上海光机所EDC湿法显影系统顺利验收! 二维码
上海光机所购买了一台EDC湿法显影系统,近期我们售后技术工程师去到现场完成设备安装调试以及用户培训,顺利验收! EDC-650Hz-8NPPB 基底材料:多种尺寸的圆片和方片; 化学试剂:TMAH、双氧水(H2O2)、盐酸(HCl)、硫酸(H2SO4)、氯化铁(Ferric Chloride)等; 辅助条件:DI rinse,N2 dry,DI bowl wash,N2 purge,DI (BSR); 应用工艺:金腐刻蚀,化合物腐蚀,正胶显影,PI显影,漂洗功能等; ·现场安装· 设备相关特点 VoD顶盖阀门控制技术;避免二次污染; 显影腐蚀液独立的试剂供给管路; 处理腔内差压精准控制; 满足2英寸~8英寸的防腐托盘; 试剂注射角度可调节; 独特设计的“腔洗”构造,保证“干进干出” 产品询问表
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