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纳米压印机 详情介绍 纳米压印机应用:过去五年中,石墨烯的气体传感器引起了极大的兴趣,显示出单分子检测。 最近的研究表明,与非图案化层相比,石墨烯的图案化强烈地增加了灵敏度。 通过标准程序生长CVD石墨烯,然后转移到Si/SiO 2基板上进行进一步处理。如(Mackenzie,2D Materials,[http://dx.doi.org/10.1088/2053-1583/2/4/045003]中所述,使用物理阴影掩模和激光烧蚀来定义接触和器件区域。 使用软压印在CNI v2.0中进行热纳米压印光刻,将mr-I7010E压印抗蚀剂在130℃,6巴压力下压印10分钟,压力在70℃下释放。 通过反应离子蚀刻将边缘到边缘间隔为120-150nm的大面积图案的孔转移到石墨烯中,并且用丙酮除去残留的抗蚀剂。 发现器件具有大约的载流子迁移率发现器件在加工前具有约2000cm2/Vs的载流子迁移率,之后具有400cm2/Vs的载流子迁移率处理,同时保持整体低掺杂水平。 产品询问表
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