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EHP系列加热板
EHP系列加热板
EHP系列加热板
光刻胶的前烘与坚膜是微机械加工工艺中不可缺少的两道工序.用于光刻胶烘干的热板对表面温度场分布的均匀性和温度控制稳定性均有较严格的要求.

欧洲原装进口的HP高精密度热板带集成控制器,可以达到高精度的温度控制,用于实验室或者批量生产前期的预处理,根据不同的型号,处理温度可以从室温达到50℃或者250℃,温度均匀度±1%


设备技术参数

Model

HP1000-1

HP1000-2

HP1000-3

热板表面材料

阳极氧化铝

阳极氧化铝

阳极氧化铝

加热面积

10mm~150mm

10mm~100mm

10mm~150mm

温度范围

50℃~250℃

50℃~150℃

50℃~250℃

温度均匀性

工作界面上±1%

工作界面上±1%

工作界面上±1%


P.I.D温度控制

高亮度4位数字LED显示温度,控温显示精确到0.1位(℃/℉

高亮度4位数字LED显示温度,控温显示精确到0.1位(℃/℉

高亮度4位数字LED显示温度,控温显示精确到0.1位(℃/℉

配置定时器



可编程定时控制真空和顶针

设备尺寸

250×250×100mm

150×150<25mm

350×290×100mm

设备电压

220V,50~60Hz

220V,50~60Hz

220V,50~60Hz

设备真空度

15”


15”

真空端口

使基片和热板紧密接触


使基片和热板紧密接触



热板顶针



3根顶针,外接圆内径约75mm,直径2.5mm顶针,升起高度<=3mm


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