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湿法工艺

WET  PROCESS


湿法刻蚀又称为湿化学刻蚀法。它主要是借助刻蚀剂与

待刻材料之间的化学反应将待刻膜层溶解,以达到刻蚀

的目的。湿法刻蚀一般被用于工艺流程前面的晶圆片准

备、清洗等不涉及图形的环节。



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光刻工艺

LITHOGRAPHY


光刻是通过一系列生产步骤,将晶圆表面薄膜的特定部

分除去的工艺。光刻生产的目标是根据电路设计的要求,

生成符合尺寸的特征图形,并且在晶圆表面的位置正确

且与其它部件的关联正确。




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等离子工艺

PLASMA  PROCESS


等离子体由离子、电子以及未电离的中性粒子的集合

组成,整体呈中性的物质状态。现今等离子体工艺应

用广泛,一般适用于表面清洗,活化,表面改性,表

面刻蚀和聚合处理等等。



匀胶旋涂仪
等离子清洗机
膜厚测试仪
压片机
EDC湿法刻蚀显影机
产品展示
PRODUCT GALLERY
上海复旦大学
上海复旦大学
光刻机的维护及保养服务
江苏某医疗设备公司
江苏某医疗设备公司
一套匀胶机、一套湿法显影刻蚀系统,以及一套双工位湿站系统,已现场完成设备安装调试和用户培训,顺利验收!
中科院宁波材料所
中科院宁波材料所
一台ALD原子层沉积系统和一台匀胶机,已现场完成设备安装调试以及用户培训,顺利验收!
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伴随着近年来国产智能手机行业的崛起,网上有关于国产芯片的话题就一直没有断过。近期的行业缺芯潮,又一次将芯片问题推上了风口浪尖。这里,我们提出一个问题:国产芯片发展需要解决的问题究竟是什么?很多朋友可能会想到光刻机,没错,光刻机很重要,但挡在国产芯片发展道路上的难题远不止只有它那么简单。今天,我们就来探讨下挡在国产芯片发展道路上的“三座大山”。
西湖大学由仇旻带领的的研究团队在国际上知名的科学技术期刊上发表了一系列的“冰雕”技术研究成果。在期刊上团队介绍了这项技术对于小到微米甚至纳米的雕刻游刃有余,从定位到控制都极其精准,再到用制成的冰雕作为模板进行加工,一套独特的“wafer in, device out”的“冰刻”三维微纳加工系统初步展现。
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2019自科基金申请即将开始,这段时间陆续有些青年老师送本子过来让我帮忙看看,或多或少都有些问题。我在这里简单分享...
《自然》12月19日发布了“2018年度十大人物”。《自然》每年遴选出10位对科学界产生重大影响的人士。杂志特写版...
电子科学与技术学院设置电子科学与技术、微电子科学与工程两个本科专业;拥有电子科学与技术一级学科硕士点、光学工程博士点、光机电工程与应用博士点、光学工程博士后流动站。课题组负责人张秀文为深圳大学特聘教授
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科研的长跑不光是专业能力的比拼,也是对心态的考验。面对各种各样的挫折和不确定性,有些人总能很快调整状态,积极面对;...
科研工作是难以预测的,有时候或许需要晚点下班。但科学家并不需要每天都挑灯夜战——甚至不需要经常在六点后下班。更注重工作的效率而不是投入的总时间——这是预防倦怠的一项重要的自我认识。
招聘需求,具体如下: 【应聘要求】1. 事业编员工要求已经或即将获得硕士或博士学位;2. 博后要求近期即将获得博士...
1. 斯坦福大学(Stanford University)Shriram生物工程与化学工程中心斯坦福大学是世界领先...
一、团队介绍饶峰特聘教授(国家优青)团队主要研究方向包括:(1)相变存储器材料的制备、性能、机理与器件;(2)发光...
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导电聚合物是具有良好电子和离子导电性的材料,可广泛应用于以下领域 电子器件、化学传感器、生物传感器、有机发光二极管、晶体管、OLED等。在本应用说明中,将介绍FR-pRo 型膜厚仪用于表征 ITO 上面的 PEDOT:PSS 层膜厚。
光学表征砷化镓薄层的表征01引言砷化镓(GaAs,Gallium Arsenide)是一种 III-V 族半导体,具有高电子迁移率、宽直接能带隙,并且在电子电路中产生的噪声比硅器件更少。砷化镓具有广泛的应用,例如:光学窗口和空间电子、激光二极管、太阳能电池、红外LED、微波集成电路等。砷化镓通常用作其他III-V族半导体外延生长的衬底材料, 例如 InGaAs、AlGaAs、InGaAs 等...
本篇应用介绍了通过白光反射光谱法(WLRS)在电介质和半导体薄膜叠层的情况下测量薄膜厚度。
石墨烯通常通过化学气相沉积(CVD)在生长基底上沉积,然后转移到适合其特定应用的目标基底上。等离子体处理可用于支持和促进各种石墨烯转移方法。
氧化锌(ZnO)是一种令人兴奋的可替代宽带隙半导体,在传感器和柔性电子器件中具有广阔的应用前景。等离子体处理可用于为氧化锌沉积准备表面,通过去除有机杂质和表面改性改善电性能,并促进氧化锌器件的制造。
等离子清洗机常用的工艺气体有氧气 、氩气 、氮气、压缩空气 、二氧化碳 、氢气、四氟化碳等。它是将气体电离产生等离子体对工件进行表面处理,无论是进行清洗还是表面活化,为达到最佳的处理效果会选用不同的工艺气体,那么等离子清洗机的常用工艺气体又该如何选择呢?
引线键合前的等离子清洗可去除表面上的有机物、氧化物和氟化物污染物,促进引线键合和芯片封装的更好的界面粘附,并减少不粘焊盘 (NSOP) 和键合提升问题。
干法光刻胶灰化、剥离和除渣,它是利用氧等离子体产生自由基氧物质,从而化学去除硅晶片上的光刻胶层。氧等离子灰化的副产品是无毒的,比湿法蚀刻工艺更环保。
在沉积高度均匀的湿薄膜时,有许多不同的溶液处理技术能够以低成本生产高质量的薄膜。每种加工技术都有其独特的优点和缺点,以及必须仔细监控以获得所需涂层的关键参数。这些参数决定了所得薄膜的质量。
锂离子动力电池在制作过程中,压实密度对电池性能有较大的影响。通过实验证明,压实密度与片比容量,效率,内阻,以及电池循环性能有密切的关系。找出最佳压实密度对电池设计很重要。一般来说,压实密度越大,电池的容量就能做的越高,所以压实密度也被看做材料能量密度的参考指标之一。压实密度不光和颗粒的大小、密度有关系,还和粒子的级配有关系,压实密度大的一般都有很好的粒子正态分布。
以光通信领域为例,近年我国宽带接入和光纤到户的发展使平面光波导芯片产品的需求量猛增。平面光波导就是在晶圆平面上利用不同物质的光折射率制造出光波传导通路,并完成过去由多个单一光器件才能实现的特定光通信功能的技术。
在此项研究中,研究人员首先采用化学气相传输法(CVT方法)制备出块状β-ZrNCl晶体,之后采用黏胶带剥离法获得单层和少层β-ZrNCl。在此基础上,研究人员系统地探究了单层和少层ZrNCl的拉曼光谱及其与体相材料的区别。
玻璃-PDMS等离子体键合:一些常见错误的想法您需要用力的按压PDMS芯片以便正确的进行玻璃-PDMS等离子体键合       对PDMS施加压力来促进键合这种办法可以用来改正一个错误的等离子体处理方法,但是它没有多大的效果,而且您还需要承担通道崩塌和通道不可逆扭曲变形的风险。需要记住的是键合需要快速进行。如果您芯片的两个部分之间的接触不好,那么可能原因就是灰尘的影响。为了正确的键合,唯一可...
微流控PDMS芯片通常采用等离子体处理的方法,不同的处理参数会影响到PDMS芯片的键合强度。良好的键合牢固的芯片的耐压强度可以达到3-5 bars的耐压值。简要介绍PDMS-玻璃等离子体键合工艺过程中需要留意的注意事项。MYCRO库博士玻璃/PDMS的等离子键合       等离子键合步骤允许您完成微流控芯片的加工过程。为了永久性的把PDMS芯片结合到玻璃片上,研究人员使用等离子清洗机来改变...
 有限的太阳光谱利用率阻碍了钙钛矿太阳能电池(PVSC)性能的进一步改善。上转换(UC)过程将PVSC的光谱吸收范围从可见光扩展到近红外(NIR)范围,并使子带隙光子传输损耗最小化。南昌大学Licheng Tan 和陈义旺等人首先将TTA UC机制引入PVSC中,以将NIR光子转换为可见光子,从而促进光电流的明显改善。
绝缘体上硅(SOI)晶片广泛用于MEMS微机电系统和CMOS集成电路制造。在MEMS微机电系统中,掩埋氧化物允许实现具有独特特性的悬浮膜。在本篇应用方案中,使用的是一个参数化红外扫描仪对一个硅化硅晶片的三层厚度进行测绘。
目前,MEMS 发展迅速,已广泛应用于医疗、军事、航空、航天、汽车工业等领域。MEMS 种类繁多,如 MEMS 传感器、MEMS 执行器和 光MEMS 等,而各种薄膜在MEMS制造加工工艺中充当了重要角色。 根据 MEMS 加工工艺需要,往往需要制作各种不同厚度的薄膜,薄膜厚度对工艺质量、最后成型的器件性质有至关重要的影响。随着薄膜厚度的变化其性质往往也出现不同,精确测量各种功能薄膜的厚度值...
广义上来讲,刻蚀是通过溶液、反应离子或其它机械方式来剥离、去除材料的一种统称,成为微加工制造的一种普适叫法。刻蚀技术主要分为湿法刻蚀与干法刻蚀。湿法刻蚀包括:化学刻蚀和电解刻蚀;干法刻蚀有:离子束溅射刻蚀(物理作用)、等离子刻蚀(化学作用)和反应离子刻蚀(物理化学作用)。湿法刻蚀和干法刻蚀是两类完全不同刻蚀方法。湿法刻蚀是使用特定的溶液与需要被刻蚀的薄膜材料进行化学反应,选择性的刻蚀掉该薄膜...
廉价,一次性透明的,经过等离子体处理的聚苯乙烯或组织培养塑料(TCP),是使用最广泛的细胞培养材料,这不仅是由于其上述特性,还因为其生物亲和力。哺乳动物细胞依赖其与其他细胞,细胞外基质(ECM)和/或物质基质的连接来控制锚定,以控制重要功能,例如细胞内和细胞外通讯,细胞凋亡(程序性细胞死亡),形态,功能和分化。跨膜蛋白,整联蛋白和细胞粘附分子(CAM)固定在其周围,并通过驱动这些过程的细胞骨...
通型生物显微镜的放大倍数可达几百倍,一般真菌和酵母菌等微生物个体较大,用低倍物镜和高倍物镜即可得到良好的效果。但要看到经染色的细菌的形态和真核生物细胞的形态构造,最好使用油镜头。油镜比干燥系高倍物镜的工作距离短得多,最短的只有0.1mm,且调焦程序又不同于干燥系物镜,操作时须特别细心,防止油镜压碎标本或损坏油镜。由于细菌体积微小,故在细菌的形态学研究中,经常需要借助显微镜油镜,才能比较清楚地...
在沉积高度均匀的湿薄膜时,有许多不同的溶液处理技术能够以低成本生产高质量的薄膜。每种加工技术都有其独特的优点和缺点,以及必须仔细监控以获得所需涂层的关键参数。这些参数决定了所得薄膜的质量。
ABOUT US
关于我们
迈可诺技术(Mycro Technologies)成立于2008年2月,是一家高新科技公司,专注于为科学行业提供全套的解决方案,面向大中华及东南亚地区的大学、研究所和企业研发中心的研究人员,提供国外先进实验室产品和配套技术服务。致力于“环球供应,本地服务”的目标,在中国内地重点城市(北京、上海、广州、武汉、济南等)、中国香港、美国、英国以及新加坡等地设有分支机构和办事处。围绕客户需求,形成了表面清洗、光刻涂布、材料表征、太阳能电池、封装键合、压力机械、试剂耗材等七大产品线。通过旗下电商平台——KoBuy库百科仪耗材商城(kblab.taobao.com),为客户提供全面的产品种类、精准的搜索查找、完善的信息介绍、便捷的购物流程,形成一站式科学服务平台。
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