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MC服务｜上海光机所EDC湿法显影系统顺利验收！ 二维码
上海光机所购买了一台EDC湿法显影系统，近期我们售后技术工程师去到现场完成设备安装调试以及用户培训，顺利验收！ EDC-650Hz-8NPPB 基底材料：多种尺寸的圆片和方片； 化学试剂：TMAH、双氧水（H2O2）、盐酸（HCl）、硫酸（H2SO4）、氯化铁（Ferric Chloride）等； 辅助条件：DI rinse，N2 dry，DI bowl wash，N2 purge，DI (BSR)； 应用工艺：金腐刻蚀，化合物腐蚀，正胶显影，PI显影，漂洗功能等；   ·现场安装· 设备相关特点 VoD顶盖阀门控制技术;避免二次污染； 显影腐蚀液独立的试剂供给管路； 处理腔内差压精准控制； 满足2英寸~8英寸的防腐托盘； 试剂注射角度可调节； 独特设计的“腔洗”构造，保证“干进干出” 产品询问表
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