Film Thickness GaugesThetaMetrisis's core technology is White Light Reflectance Spectroscopy (WLRS) that allows accurate and simultaneous measurement of thickness and refractive index of stacked thin and thick films in ultra-wide range from few Angstroms to millimeters. Applications• Semiconductors• Photovoltaics• Photonics• Process Control • Material Characterization• Optical Coatings• Polymers• Chem- & Bio-Sensing• Packaging• Education Products▶ FR-pRo       Build-To-Order tool for any coating characterization needs▶ FR-pOrtable         Accurate Characterization of Coatings at the Point-of-Need ▶ FR-μProbe▶ FR-Scanner     Automated, Ultrafast, mapping of Thickness & Refr Index▶ FR-Education    ▶ BioAnalyzer        Fast & Label-free monitoring of bioreactions

AT400 Base ALD System Table Top Atomic Layer Deposition Unit, suitable for up to 5 lines.Precise precursor dosing with defined dose volumes:- Reduces process and dose variability common to competitors- Fast cycling capability- 6-10 cycles/min or up to 1.2nm/min Al2O3 (best in class) Features:- Substrate size up to 4" (100mm) diameter- Chamber temperatures from RT to 400°C ± 1°C- Precursor temperatures from RT to 150°C ± 2°C with optional heating jackets- 2 counter reactants - standard- 1 liquid source such as H2O or H2O2- 1 gas source such as O2 or NH3- 2 gas sources can be used as well- Variable process pressure control 0.1 to 1.5Torr- All metal sealed system upstream of sample- Up to 3x Heated sources- Volume controlled dosing (Volume control yields more repeatable precursor doses)- Valve time controlled dosing- Exposure Control- Point source Gas Distribution with Optimal Spreading for superior film uniformity- Integrated, angled HMI/PLC SW/Controls (prevents random SW lockups)- Robust 7" touch screen PLC control system- Recipe Control: proven recipes pre-loaded in controller- Smallest Footprint on the market (55cm W x 55cm D X 39cm H), cleanroom compatible- Weight 45kg Other:- Pump (> 12cfm) to be provided by customer- Facilities required (15amp power, 10psi regulated high purity N2 or Ar with 1/4" face seal fittings, 1" vacuum line or 1.5" linefor lengths >4ft, compressed dry air 70-80 psi)- Excellent Process Development Support (Harvard lab scientsts provide evidence based assistance to customers)- Simple system maintenance and integrated vacuum interlock.