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MC新品荐|高精度光学表征工具——膜厚测试仪 二维码
FR系列膜厚测试仪基于白光反射光谱,准确同步薄膜的折射率及厚度测量,广泛且多样化的应用范围,拥有光电特性和整体解决方案,应用领域如:半导体,有机电子,聚合物,涂料,光伏,生物传感和化学传感等等。 — FR-Basic — FR-Basic是一系列模块化和可扩展的测量仪器,可根据客户需求量身定制,能够通过标准吸光度/透射率和反射率测量,在温度和环境控制下的薄膜表征,用于各种不同的应用。 FR-Basic工具经过精心设计,可通过选择或组合各种核心单元、不同的模块和套件,根据客户的需求进行合适的测量和表征设置。 — FR-Scanner — FR-Scanner是一种紧凑型台式工具,适用于通过大型基板上的薄膜和涂层的反射率测量进行自动表征。FR-Scanner是薄膜在厚度,折射率,均匀性,颜色等方面快速准确映射的理想工具。任何直径/形状的晶圆都可以容纳在真空吸盘上。 像典型的,8英寸硅片625点扫描,用时不到60秒。凭借其强大而独特的光学和机械设计,FR-Scanner通过旋转平台并在顶部线性移动光学头(极化扫描),以非常高的速度扫描待测样品。在这种设计中,没有弯曲或移动的纤维,因此在精度,重复性和长期稳定性方面具有优异的性能。此外,光源的特殊设计提供很长寿命,10000小时。FR-Scanner是在加工设施中对晶圆或其他基板进行在线表征的理想工具。 — FR-Portable — FR-Portable是一种独特的微型化解决方案,可对透明和半透明单膜或叠层薄膜进准确,无损的表征。通过FR-Portable,用户可以对370-1020nm光谱范围内的薄膜进行反射和透射率测量。 FR-Portable小型定制的反射探头确保测量的高精度和可重复性。FR-Portable可安装在提供的平台上,也可以很容易地转换为手持式厚度测量工具,可放置在样品上表征。FR-Portable是现场应用中的光学表征工具。 —— 应用方案 —— 钙钛矿广泛用于太阳能电池的开发,其光伏性能前景可观。 钙钛矿薄膜的厚度和形态是影响太阳能电池性能的重要因素。 特别发现,当钙钛矿的厚度小于400nm时,钙钛矿太阳能电池的效率很大程度上取决于钙钛矿薄膜的厚度;而当其厚度大于400nm时,钙钛矿太阳能电池的效率取决于钙钛矿薄膜的形态。 此次应用中,我们使用FR-Tools测量钙钛矿薄膜的厚度。 用于表征的样品是两个CH3NH3PbBr3钙钛矿薄膜,在标准ITO / SiO2 /钠钙基底上具有不同的厚度,如下图所示。 使用FR-Basic VIS / NIR进行反射测量,在350-1020nm的光谱范围内操作。 获得两种样品的标准光谱(黑线)和被拟合的反射光谱(红线),如FR-Monitor软件所示,分别在图a)和图b)中示出。 两种测量的拟合在500-750nm光谱范围内应用,样品1中钙钛矿薄膜的厚度在516.9nm处测量,而样品2中的厚度在394.4nm处测量。 图a):样品1的实验和拟合反射光谱。在515nm处测量的厚度。 图b):样品2的实验和拟合反射光谱。在392nm处测量厚度。 以下是客户在试验中使用膜厚测试仪发表的相关论文列表:
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