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MC服务|直击广东工业大学光刻机和湿法设备的安装现场

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上周我司售后技术同事去到广东工业大学进行光刻机和湿法等设备的安装调试及售后培训,已顺利完成验收图片图片图片


NXQ4006光刻机
NXQ4006半自动掩膜对准曝光系统,融合了独立的模块化设计,精准控制对准和曝光等特点。此次安装是在黄光室中进行,以下是现场安装完成后的设备图(整机图、掩膜版图、紫外曝光图、对准曝光系统图)
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光刻机安装培训

售后同事开箱取出设备,放置水平校准,安装各个部件,连接各个线路和管路,特别是紫外曝光灯的安装需要特别小心。再是检测管道的压力大小。最后是调试,调节曝光灯的强度和功率,调节显微镜显示效果,调节接触压力大小,调节间隙等。光刻机的安装流程较为复杂。下图中售后同事正在和老师、学生进行设备的使用培训,并辅助学生完成了一次整套光刻工艺流程,清洗、匀胶、前烘、曝光、显影......

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紫外曝光瞬间



EDC650湿法刻蚀显影机
EDC650湿法刻蚀显影机,刻蚀、湿法和清洗于一体,拥有独特的旋转喷淋技术和气流保护技术,显影液均匀喷涂,样片“干进干出”避免在显影完后被腔体内的残液二次污染。
下图中售后同事正在和老师、学生进行设备的使用培训。指导学生如何匀胶,如何显影,在过程中需要注意哪些事项。
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滴胶匀胶瞬间



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