MC服务｜乌镇实验室的湿法刻蚀显影机顺利验收！

设备型号：EDC-650Hz-8NPPB；
基底材料：直径4 inches 和6 inches硅片；
化学试剂：HNO3 <50%，H3PO4 <50%，CH3COOH <50%，HCl <50%，1路备用；
辅助条件：DI rinse，N2 dry，DI bowl wash，N2 purge，DI (BSR)；
应用工艺：主要为显影和腐蚀；

设备安装调试

现场用户培训