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MC服务|河南某医疗公司的湿法刻蚀显影机顺利验收! 二维码
河南某医疗公司购买了一台EDC湿法刻蚀显影系统,上周我们售后技术工程师去到现场完成设备的安装调试以及用户培训,顺利验收! 1 设备现场安装 2 用户现场培训 用户工艺方案 设备型号:EDC-650Hz-8NPPB湿法刻蚀显影机; 基底材料:直径4英寸、6英寸的圆片和70mmx70mm的方片; 化学试剂:两路显影液(TMAH、SU8 Developer),一路腐蚀液(FeCl3),还有一路备用; 辅助条件:DI rinse,N2 dry,DI bowl wash,N2 purge,DI (BSR); 应用工艺:显影,金属化合物腐蚀; 现场样片测试 使用的样片是4英寸硅片,需要刻蚀的是康铜层,化学试剂用的是0.02 g/ml FeCl3+0.005 g/ml HCI 混合溶液。 产品询问表
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