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 FR-Scanner扫描型膜厚测试仪
全自动，超快速，高精准等膜厚表征绘制和膜厚涂覆的光学特性
FR-Scanner 是简洁易操作的台式膜厚仪，适用于在大尺寸基板上的薄膜和涂层上，利用光学反射方法来测量和自动分析薄膜涂层的表征。 FR-Scanner膜厚仪是可通过测定放置在真空托盘上的任何大小的半导体晶圆片，快速计算出其厚度、折射率、均匀性、颜色等参数。 FR-Scanner膜厚仪的光学扫描系统，采用一套特有又可配套的光谱仪，集成白炽和LED混合的光源，以及其他光学部件。在本系统设计中没有弯曲或移动探针。因此，在准确度、重复性和长期性方面，光纤具有优异的性能。确保系统结果输出的稳定性。此外光源的特殊设计提供极长寿命，可达10000小时以上。
*附件选项 电脑：PC with 19inch screen 对焦模块：光学模块附带250um直径光斑大小的反射探针 泵浦：样品放置用的高级无油真空泵浦 产品询问表
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