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PIE系列台式等离子清洗机
PIE系列台式等离子清洗机
PIE系列台式等离子清洗机
等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机,或者等离子表面处理仪,是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆、改性、光刻胶灰化等目的。

美国Tergeo系列台式等离子清洗机是等离子处理设备领域当之无愧的。专为实验室,研发和小规模生产部门提供性价比高的小型等离子清洗设备,等离子强度探测器实时定量检测等离子状态。


请您选择合适的配置

型号

Tergeo

Tergeo-Plus

Tergeo-EM

舱体大小

直径 110mm x深度280mm

直径 160mm x深度280mm

用于TEM样品杆和扫描电镜样品清洁

舱体材质

标配为高纯度圆柱形石英舱

常用气体

空气氧气氢气,氩气氮气和其他混合气体

气路控制

标配一路MFC;最多可选配三路MFC0~100sccm之间精确控制气体流量;

控制系统

7英寸电阻触摸屏操作界面

程序控制

可编程,总共有20个程序,每个程序有3个清洁步骤

射频频率

13.56  MHz

射频功率

标配0~75W瓦之间以1瓦间距连续可调,自动阻抗匹配;可选配75~150W

等离子源

等离子强度探测器实时定量检测等离子状态;电阻耦合电离方式  

电极设计

外置电极设计,高压电极不和等离子接触以避免金属溅射造成的样品污染

设备电源

220  V/50Hz


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