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PPC系列微波级等离子清洗机
PPC系列微波级等离子清洗机
PPC系列微波级等离子清洗机
等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机,或者等离子表面处理仪,是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆、改性、光刻胶灰化等目的。

PLASMA-PREEN 微波级等离子清洗机是一台小型台式设备,可以用来清洗和刻蚀。 PLASMA-PREEN 离子清洗机系统融合了诸多工艺特点并在众多的应用领域中得到了肯定


选择适用的型号

PPC系列等离子清洗机根据反应舱的不同,分为三款第一款是圆筒型反应舱系统。第二款是水冷式设备, 反应舱尺寸为 8”(L) x 6”(W)x 2”(H)。第三款是一台大型水冷式设备,反应舱尺寸扩展至 9” (L) x 7”(W) x 3” (H)

型号

PPC  I


PPC  II

862

973

反应舱

圆柱形4.1英寸(内径),6英寸(深度)

材质为派瑞克斯玻璃舱

可选配石英舱

方形

8英寸(长)x6英寸(宽)x2英寸(高)

材质为铝质舱,可选配派瑞克斯玻璃舱

方形

9英寸(长)x7英寸(宽)x3英寸(高)

材质为铝质舱,可选配派瑞克斯玻璃舱

等离子源

频率为2.45GHz,功率范围:100  Watts 750  Watts 之间调节,

负载比>10%,可连续调节

配套附件

真空泵浦和水冷装置

处理气体

氧气,氢气,氩气,氮气以及其他混合气体


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