快速退火炉JetLight 50

产品特点：

1、基片从前面载入/取出；

2、红外卤素灯管加热，冷却采用风冷（低噪音水平，无需压缩空气）；

3、石英腔体，腔体冷却采用水冷，冷壁设计；

快速退火炉技术参数：

1、腔体尺寸：直径50mm×深度150mm；

2、红外卤素灯：6支；最大功率：15KW；

3、红外卤素灯冷却方式：风冷；

4、温度范围：室温~1000 ℃；

5、温度精度：±1℃；

6、温度控制：快速数字PID控制；

8、热电偶：K型热电偶；

9、工艺气体气路配质量流量计：压力：2bars；