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纳米压印机
详情介绍 桌面式纳米压印机 CNI v3.0 桌面纳米压印工具,轻松复制微米和纳米级结构 可用的腔室最多可支撑100mm或200mm晶圆 CNI v3.0是一种非常灵活的纳米压印机。它可提供加热型纳米压印、UV紫外纳米压印以及真空纳米压印。模块化系统可根据特定需求轻松配置,体积小,容易存放,最大可处理Ø100毫米(4英寸)所有形状和格式的印章和基板。该系统是手动装卸印章和基板,但所有处理器都是全自动的,专用软件用户可以完全控制压印过程。 CNI v3.0 支持许多不同的技术,例如: • 热纳米压印 • UV纳米压印 • 热压印 • µ-接触印刷 • 聚合物粘连 使用示例包括: • 纳米结构的烙印 • 微观结构的烙印 • 在硅上刻印具有纳米间距的光栅 • 印在易碎的基材上 (例如III-V材料, InP) • 印章制作 • 高纵横比结构的热压印 • 聚合物片材的热压印 • 热聚合物粘合 产品特点: • 体积小巧,桌面型; • 轻微复制微米和纳米级结构; • 热压印温度高达250°C; • UV 纳米压印,365nm处曝光; • 真空纳米压印(腔室可抽真空至1mbar); • 压印压力0.3bar ~ 11 bar; • 温度分布均匀、读数精准; • 印模和基材尺寸: 直径最大为210mm(8英寸); • 笔记本电脑全自动控制,工艺配方编辑简单,完全灵活控制,自动记录数据; • 即插即用; • 使用简单直观; • 手动装卸印模和基材; • 提供安装和操作教程视频; 上一个: 紫外掩膜对准光刻机/曝光机 下一个: EMS加热台/烤胶机 |