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Mask Aligners
NXQ4000 Series
NXQ8000 Series
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Mask Aligners


High performance products, built to last


• Technologically Advanced Mask Aligners

Incredibly fast and accurate electromagnetic linear stage motors

Smart Align Technology-superior auto alignment algorithms

Integrated OBS and IR backside alignment unit with no hardware conversion

Best in class dual arm robot and pre-aligner optimized Tor highest T-put


Application

MEMs

WLP

3DIC and SiP

Compound Semi

Optoelectronics

LED

2.5D Interposer - TSV

Solar - HCPV


NXQ4000 Series R&D & pilot line production

NXQ8000 Series Scalable, high volume production platform


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